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2026

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白光干涉仪的技术壁垒并非仅在精度，而在大视场（Large F...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依托短相干干涉原理，小视场下亚纳米级纵向测量精度方案已经成熟，相关指标同质化程度较高，...

05

2026

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11

白光干涉仪的工程应用难点：大视场下保持纳米级测量稳定性

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依靠短相干干涉原理，在小视场条件下可稳定实现亚纳米级纵向形貌测量，是半导体先进封装、高...

04

2026

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白光干涉仪的研究重心：超越精度指标，面向大视场（Large ...

白光干涉仪（White Light Interferometer，WLI）依托低相干干涉原理，微区亚纳米级垂直精度方案已趋于成熟，精度指标同质化明显。当前研究重心...

03

2026

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白光干涉仪在精密测量中，大视场技术是制约应用场景的核心因素

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依托短相干干涉原理，可实现亚纳米级纵向形貌检测，广泛用于微纳构件三维表征。受光学成像固...

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